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【今日头条】集成电路“卡脖子”技术受关注 国产替代刻不容缓

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据日经新闻报导,荷兰光刻机巨头ASML将暂时中止为“中国客户”供应“极紫外光(EUV)微影设备”。多位ASML供应商关系人士指出,ASML原先计划在2019年底之前供应EUV微影设备给中芯国际,“不过该计划目前已暂时叫停”。ASML之后澄清表示,根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。

光刻机是半导体制造业中最核心的设备,半导体制造业皇冠上的明珠,光刻环节实现芯片设计图从掩模到硅片上的转移,是芯片生产流程中的最关键步骤,直接决定芯片的制程水平和性能水平。芯片在生产过程中需要进行20-30次的光刻,耗时占到制造环节的50%左右,占芯片生产成本的1/3。目前ASML在光刻机领域市占率近80%,基本垄断高端光刻机。光刻机是重要的卡脖子领域,国产化迫在眉睫。

北方华创(002371)为国内最大的集成电路设备提供商,芯片刻蚀机等设备已进入集成电路主流厂商,客户包括中芯国际、华为海思等。公司与国望光学、科益虹源等光刻机核心部件厂商同为北京国资委旗下企业。

蓝英装备(300293)瑞士子公司UCM AG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机(EUV)的光学系统相关关键部件的清洗设备。

张江高科(600895)参股上海微电子装备(集团)股份有限公司10.779%的股权。后者是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业。

南大光电(300346)拟6亿元投建先进光刻胶材料项目。

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